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80L真空等離子清洗機(jī)NE-PE80F

  • 產(chǎn)品型號:NE-PE80F
  • 性能特點(diǎn):所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置
  • 產(chǎn)品用途:材料表面清洗活化刻蝕去膠
  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
工業(yè)真空等離子清洗機(jī)由真空室、真空泵組、電源、供氣裝置及控制部分(包括真空控制、電源控制、溫度控制、氣體流量控制等)組成。等離子清洗機(jī)的清洗原理是射頻電源在一定的壓力情況下,起輝發(fā)射高能量的無序等離子體,這些等離子體中有大量激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,他們撞擊到被清洗基體表面,破環(huán)了材料表面原有的化學(xué)鍵,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),這樣不僅可以清除物品表面的污物和雜質(zhì),還可以提高表面活性。
等離子清洗機(jī)應(yīng)用


工業(yè)真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):


所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置,保證了整機(jī)的穩(wěn)定性和使用壽命。
真空泵采用進(jìn)口旋片泵,是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系,在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗,使泵的壽命大大提高,并有效降低了泵 的維護(hù)成本,泵的各項保護(hù)措施完善,提高了長時間工作極限,泵油為耐高溫、抗氧化油,泵具有可自行緩解溫度過高的 散熱體系,無需水冷。泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部,使機(jī)器緊湊,占地面積小。
控制方式:自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制,所有工藝參數(shù)、工藝過程實時監(jiān)控,并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報警記錄和工藝 曲線記錄、工作時間記錄,適合維護(hù),可以提供工藝參考。
電源功率、潔凈壓力、射頻功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置。 
可存儲100組工藝配方,隨意調(diào)用。 工藝參數(shù)受密碼保護(hù),分級密碼管理查詢。
電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu),牢固可靠易拆卸。
反應(yīng)倉為矩形不銹鋼腔體,水平電極板放置,間距可調(diào)。
真空泵采用雙腔式旋片泵,及限真空度可達(dá)2Pa以下,一般采用外置。
一鍵完成全自動工藝,實時故障報警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。
自動提醒系統(tǒng)堆護(hù)、更換真空泵油等,避免機(jī)器過載、過老化情形下工作,延長使用壽命。
氣體質(zhì)量流量計用的是直聯(lián)式油旋片真空泵,由模擬量輸入輸出,量程為0-2000m可在量程范圍內(nèi)無級調(diào)節(jié)、針閩等 控制工藝氣體流量。 
根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵,尾氣處理設(shè)備,油過濾器,過德返油裝置等。
電極結(jié)構(gòu)(專利)的高等離子通量設(shè)計 能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。
 

工業(yè)真空等離子清洗機(jī)常見應(yīng)用:


1、將PDMS腔室和玻璃基底同時放入等離子清洗機(jī)中改性,結(jié)束后快速將兩者鍵合。
2、電路封裝過程中焊接產(chǎn)生的助焊劑等殘留物以及導(dǎo)電膠粘接膠液揮發(fā)積聚的薄膜有機(jī)物質(zhì)嚴(yán)重影響鍵合界面的清潔,不加以處理而直接鍵合,將造成虛焊、脫焊等問題。等離子清洗是常用的清洗方式。
3、等離子體清洗Ti/Mo襯底表面,以去除襯底表面的自然氧化層。
4、利用等離子除膠可以達(dá)到常規(guī)清洗無法達(dá)到的效果,可應(yīng)用在PCB制造過程中。
5、ITO表面進(jìn)行等離子清洗可以除去表面有機(jī)雜質(zhì),更重要的是清洗后不僅可以優(yōu)化ITO的功函數(shù)和導(dǎo)電率,還能夠增加其與修飾層界面接觸,從而有利于電荷的傳輸。
 

型號 真空等離子清洗機(jī)NE-PE80F
等離子體發(fā)生器頻率 13.56MHz
射頻電源功率 (0~600)W 可調(diào)
工作真空度 30~150Pa
反應(yīng)倉工作溫度 30~60℃
氣體流量 (0~200)ml/min
控制方式 采用觸摸屏人機(jī)界面的PLC控制
腔體材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
輸入電壓 380×(1±10%)V(AC) 50Hz~60Hz 三相五線
氣體通道 標(biāo)準(zhǔn)兩路,可增加,可通入氧氣氬氣氮?dú)獾?/span>
設(shè)備功率 ≤4kW
外形尺寸 L1200×W1100×H1850(mm)
反應(yīng)倉尺寸 W450mm×H400mm×D470mm
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