等離子轟擊清洗技術(shù)及其應(yīng)用

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-08-16

等離子轟擊清洗技術(shù)是一門新型的高效清洗技術(shù),可以用于半導(dǎo)體或其他材料的表面改性處理]和清潔處理。等離子轟擊清洗技術(shù)也可用于汽車燈具噴底漆或鍍膜之前的工件表面清潔和活化處理。

等離子轟擊清洗技術(shù)

等離子轟擊清洗作為一種材料表面處理方法，在惰性氣體保護(hù)氛圍下，通過(guò)輝光放電使惰性氣體電離產(chǎn)生大量的離子及等離子體，在基體偏壓及外加磁場(chǎng)的控制下，大量的離子高速向基體飛去并發(fā)生轟擊作用。離子轟擊可有效地清除基體表面的氧化膜及其他雜質(zhì)，實(shí)現(xiàn)基體表面清潔作用。另外，大量的離子持續(xù)轟擊基體表面，產(chǎn)生類似于噴丸處理的效果，導(dǎo)致基體表面的應(yīng)力狀態(tài)發(fā)生改變、產(chǎn)生塑性變形、促進(jìn)了基體表面缺陷的產(chǎn)生，甚至對(duì)基體的表面粗糙度也存在著影響，繼而達(dá)到了基體的表面改性。而這些基體的表面改性會(huì)降低原子的擴(kuò)散激活能、提供擴(kuò)散通道甚至擴(kuò)散驅(qū)動(dòng)力，從而促進(jìn)了原子的擴(kuò)散。因此，離子轟擊一方面有效去除了基體表面氧化膜，起到了表面清潔作用；另一方面改變了基體表面狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)了基體的表面改性。這兩方面的作用均對(duì)原子的擴(kuò)散起到有利的影響，繼而實(shí)現(xiàn)了基體的表面活化。

等離子轟擊清洗技術(shù)應(yīng)用

鍍膜前等離子轟擊清洗
等離子體會(huì)轟擊基體表面，可以進(jìn)一步清洗基體表面以及轟擊出基體表面與基體結(jié)合不牢固的原子。此外，等離子體的轟擊還有利于進(jìn)一步清洗基片表面的雜質(zhì)以及促進(jìn)偽擴(kuò)散層的形成，這些均有利于增大薄膜的附著力。在鍍膜過(guò)程，等離子轟擊可以改善鍍層質(zhì)量，阻止凝聚態(tài)的優(yōu)勢(shì)生長(zhǎng)，從而有利于生成更為均勻致密平整，附著力更大的薄膜。

引線鍵合前等離子轟擊清洗
電路組裝之前,基板表面不可避免地會(huì)引入有機(jī)污染物,這將導(dǎo)致后續(xù)引線鍵合過(guò)程中鍵合不上或鍵合引線拉力值減小,使得可靠性下降。等離子轟擊清洗可以通過(guò)離子轟擊使基板和芯片表面的污染物雜質(zhì)解吸附并去除雜質(zhì),使得引線鍵合拉力值提高,可靠性提高。

以上就是國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技關(guān)于等離子轟擊清洗技術(shù)及其應(yīng)用的簡(jiǎn)單介紹，等離子轟擊技術(shù)通過(guò)將氣體摻入真空室體,將室內(nèi)壓力控制在設(shè)定的范圍內(nèi),通過(guò)控制加載在真空室內(nèi)高壓極板間的電壓,將氣體電離,產(chǎn)生輝光放電,真空室內(nèi)的高能等離子轟擊工件,工件表面的分子激發(fā)、離解或電離,去除氧化物、水分和有機(jī)污物,增強(qiáng)襯底結(jié)合力。

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