真空等離子清洗機（設備）的維護保養(yǎng)

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-04-18

在等離子清洗機在使用中，會遇到清洗達不到要求、設備本身故障率異常等問題。如何保證等離子清洗機在生產(chǎn)中能夠達到工藝要求，同時保證設備的正常穩(wěn)定運行，等離子清洗設備的維護保養(yǎng)至關重要。

在實際生產(chǎn)中，我們發(fā)現(xiàn)等離子清洗機一些重要的部件會隨著使用時間的推移產(chǎn)生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題，會是引起等離子清洗設備達不到清洗效果的原因，例如反應腔、電極、托盤架、氣體的壓力等。以下介紹了幾個關鍵部位保養(yǎng)前后的效果以及如何進行保養(yǎng)。

等離子清洗機的維護保養(yǎng)

在保養(yǎng)和維修的過程中，一方面，要做好日常檢查，考慮到等離子清洗機靠電力掣動，因此，必須加強對電氣安全性的檢查，重點查看線路是否存在破損和老化的情況。檢查電箱內繼電器在閉合或斷開時是否有打火花。

另一方面等離子清洗機在運行的過程中部分構件受各種因素影響，在開展預防性基本規(guī)程時，首先，相關操作人員要做好設備的清潔管理工作。

等離子反應腔體清潔

等離子清洗時產(chǎn)生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產(chǎn)生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托盤架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔底掉落更嚴重。
對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭

電極與托盤架的保養(yǎng)翻新

托板架和電極長時間使用后會附著氧化層，同時采用等離子體處理烴基材料時，一段時間后在托板架、電極，上會積累一層薄的烴基殘留物，這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應依據(jù)附著物的量對電極、托板架進行翻新維護能保證清洗的穩(wěn)定。

清洗材料要求：氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。注意：不要使用手磨機、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機械方法清潔；氫氧化鈉溶液會與鋁發(fā)生劇烈的化學反應，應小心謹慎以確保僅在所需的時間內清除沉積物；反應中會生成具有潛在爆炸性的氫氣，因此工作區(qū)域應保持良好的通風。

電極的清潔翻新步驟
（1）切斷電源并取下接地電極。（留意每個電極的初始位置，使它們在被清潔后能夠安裝在原來相同的位置上）；
（2）在室溫下將拆下的電極沉浸在10%的氫氧化鈉溶液內。在沉浸時每2min檢查電極一次，直到徹底除去殘留物。實際清潔時間取決于積累在每個電極上的殘留物數(shù)量。
（3）用城市用水徹底沖洗電極3分鐘。
（4）將電極浸在硫酸和水（按重量為5%）的溶液中一分鐘（不能干燥）后，立即進入下一步操作（這一步主要去除氧化層，干燥以后氧化層會再次附著，難以沖洗）。
（5）用蒸餾水沖洗電極兩次，每次3min。
（6）使電極徹底干燥。
（7）將電極安裝在與原先的位置，如必要，更換絕緣體。

配件和軟管檢查

檢查配件是否松動，檢查軟管是否磨損或破裂。

真空泵油過濾器

檢查機油濾清器，如果臟了或被油堵塞，請更換。

真空檢查

檢查腔室壓力并記錄值，如果壓力比前一天變化超過5%，調查泄漏。

氣壓檢查

檢查反應氣體的氣壓，在0.1~0.2MBa之間。
檢查壓縮空氣的氣壓，在0.5~0.8MBa之間。

射頻等離子發(fā)生器

定期檢查設備背面是否有灰塵或腐蝕，吸出任何灰塵、污垢、污染物。如果發(fā)現(xiàn)腐蝕，清潔該區(qū)域并檢查是否有泄漏。

如果不對等離子清洗機的日常維護工作予以重視，對可能出現(xiàn)故障的部位予以維護，就會導致設備的故障發(fā)生概率增加，設備壽命縮短。因此，為了保障等離子清洗機始終處于最佳的狀態(tài)下，發(fā)揮出最大的清洗功效，使用單位需要對等離子清洗機進行定期、不定期的檢修，對重要設備結構進行定期維護，降低構件的日常損耗，及時更新?lián)p耗配件，確保破損構建不會損壞其他零部件，降低故障發(fā)生的風險，保障施工項目能夠順利進行。另一方面，還要加強度日常養(yǎng)護維修工作的記錄檔案管理。通過更精細的建檔工作，保證相關技術操作人員能夠及時調取設備相關信息，確保日常預防性養(yǎng)護和維修工作的時效性，保證常規(guī)運行的可靠性、精確性和穩(wěn)定性，延長等離子清洗機的使用壽命。